“日 ?????? ??? ??, ????? ?? ??”

??1
?? 2019? 8? 22? 12? 27?

???: ?

???: ?

?? ??? ??? ??? ?? ??? ?? ‘??????’(???? ???? ???) ???? ????? ??? 2? ?? ??? ??? ???? ????? ??? ?? ??? ?? ??? ??. ? News1

?? ??? ???? ???? ??? ??? ???? ‘????(EUV)? ??????(photoresist)’? ?? ???? ?? ??? ????. ?? ? ??? ?? ??? ? ? ??? ???.

??????? ??? ??? ??? ? ?? ??? ?? ?? ??? ????? ????? ?? ?? ?? ??? ?? ??? ‘?? ??’? ???? ???? ??? ???.

22? ??? ??? ??? ??????? ?? ???? ?? ??? ????. ?? 7?? 19? ?? ?????? ?? ??? ?????? ??? ??? ? ?? ??? ????? ??? ??? ???.

?????? “??? ??????? ??? ????? ??? ?? ??”?? “?? ??? 19?? ??? ??? ??? ?”??? ???.

??? ??? ?????? EUV(????) ????? ??? ? ??? ????? ????.

????? ???? “??? ???? ??????? ??? ???? ???? ??? EUV? ??????”?? ???.

????? ??? ??????? ??? ???? ??? ??? ?? ??? ??? ?? ???. ?? EUV? ??????? ??? ??? ??? ??? ?????.

?? 10????? ???? ???? EUV ??? ??? ????? 5???? ?? ??? ????. ?? EUV ??? ??? 7?? ?? ???? ???? ??? ??? TSMC? ???????.

? ??? ?? ??? ??????? ?????, ?? ???? ???? ???? ?? ??? ????.

? ?? ???? “(?? ??? ???)????? ?? ??? ??? ??? ????? ?? ?? ?? ??? ??? ?? ??”? ??.

? ?? ??? ?? ???? “????? ?? ??? ??? ??? ??? ?? ??? ??”?? “????? ???? ??? ????”? ??? ????.

????? ??? ?? ???? ??? ??(??)? ?? ??? ??? ???? ??? ???? ???? ??? ???? ?? ????.

?????? ??? ?? ??? ????? ??? ????? ????? ?? ???? ????? ????.

????? ?? ?? ???? ???? ??? ???? 90%??? ????. ?? ??? ????? ?? ???? ?? ?? ??? ???? ??? ????.

(??=??1)