?? ??? ??? ??? ?? ??? ?? ‘??????’(???? ???? ???) ???? ????? ??? 2? ?? ??? ??? ???? ????? ??? ?? ??? ?? ??? ??. ? News1
?? ??? ???? ???? ??? ??? ???? ‘????(EUV)? ??????(photoresist)’? ?? ???? ?? ??? ????. ?? ? ??? ?? ??? ? ? ??? ???.
??????? ??? ??? ??? ? ?? ??? ?? ?? ??? ????? ????? ?? ?? ?? ??? ?? ??? ‘?? ??’? ???? ???? ??? ???.
22? ??? ??? ??? ??????? ?? ???? ?? ??? ????. ?? 7?? 19? ?? ?????? ?? ??? ?????? ??? ??? ? ?? ??? ????? ??? ??? ???.
??? ??? ?????? EUV(????) ????? ??? ? ??? ????? ????.
????? ???? “??? ???? ??????? ??? ???? ???? ??? EUV? ??????”?? ???.
????? ??? ??????? ??? ???? ??? ??? ?? ??? ??? ?? ???. ?? EUV? ??????? ??? ??? ??? ??? ?????.
?? 10????? ???? ???? EUV ??? ??? ????? 5???? ?? ??? ????. ?? EUV ??? ??? 7?? ?? ???? ???? ??? ??? TSMC? ???????.
? ??? ?? ??? ??????? ?????, ?? ???? ???? ???? ?? ??? ????.
? ?? ??? ?? ???? “????? ?? ??? ??? ??? ??? ?? ??? ??”?? “????? ???? ??? ????”? ??? ????.
????? ??? ?? ???? ??? ??(??)? ?? ??? ??? ???? ??? ???? ???? ??? ???? ?? ????.
?????? ??? ?? ??? ????? ??? ????? ????? ?? ???? ????? ????.
????? ?? ?? ???? ???? ??? ???? 90%??? ????. ?? ??? ????? ?? ???? ?? ?? ??? ???? ??? ????.
(??=??1)