???? ??????(LCD) ????? ??????? ??? ??? ??? ???? ??. ? ?? ?? ??? ?? ??? ?? ????. ?? ?? ???????
《?? ??? ??? ‘???????’. 22? ??? ???? ???? ??? ??? ?? ?? ? ?? ???? ?? ?? ??? ?? 10m? ??? ??? ??? ??? ?? ? ??? ???. 1995? ??? ???·??????(LCD) ????? ? ??? 10? ?? ??? ??? ?? 337?(?? ?? 840?). ?? ?? ? ?? ??? 96?? ???. ??? ?? ??? ????? ? ??? ‘??’?? ??? ???. 350?? ?? ? ??? ?? 185?? ?? ??? ? ?? ??.》
○ “????? ??? ???”
???? ??? ?? ?? ??? ??????(CVD) ??? ??? ???????? ??? ‘?????(?? ??)’ ????.
???? ? ??? ??????. 2000? 2? ??? 12?1000?(??? 500?)? ?? ????.
??? ?? ??? ???. 2001? ?? ???? ??? ??? ??? ???? ???? ??? 2002? ??? ??(498? ?)? ???? ? ??? 227? ??? ??????. ??? ?? 875? ?? ????. 2003? 3? ??? ?? ???? 1550??? ??????.
??? ???(大將株)? ‘??’? ???? 2004? ??? ??? ????. ?? ?? ??? ??? 1669? ?, ??? 340? ??? ??? ??? ?.
? ?? ????(IR) ?? ??? ???? “??? ???? 2002, 2003??? ???? ?? 93%? ?????? ?? ?? ?? ?? ??? ??? ??”??? ???.
2001???? ???? CVD ??? ??? ???? ????? 2002? ???? ?? ?? ??? LCD? CVD ??? ??, ???? ? ???? 2004? ?? ??? 1200? ??? ????. LCD? CVD ?? ?????? ?? 2??? ???.
2005? ????? LCD ??? ??? ?? ??? ?? ?????? ?? ??? ???? ????.
?? ?? “??? ‘???? 10? ???’? ?? ??? ???? ??? ‘???? ????(SD CVD)’ ??? ??? ??? ?? ?”??? “??? ?? ???? ?? 1200? ? ? 800? ?? ????”? ???.
SD CVD? ??? ?? ?? ?? ??? 80nm(????·1nm? 10??? 1m)? ??? ?? ???? ?? ??? ????. ?? CVD ????? ? ???? ??? ???? ?? ??? ?????.
○ ??? ??? ??? ??? ?? ????
??? ????? ?? ??? ??? ? ?? ?? ??? ??? ???? ???? ?? ??? ???? ????? ??? ??. ?? ?? ???????? ??? ??? ? 20%? ??? 313? ???? ???? ??? ??? ???.
??? ??? ??? ???? ? ??? ???? ? ???. ?? 5? ? ??? ??????(PER)? 5??? 97??? ?????? ??.
?? ?? “????? ??? ???? ?? ??? ??? ???? ?? ?? ??? ???, LCD, ???? ??? ????? ?? ??? ??? 50%?? ?? ?? ???? ?????”? ???.
??=??? ?? larosa@donga.com
●?????? ?
??? SK?? ?????
???????? ??? ??? ?? ???? ?(前)?? ?? ???? ???? ?? ??? ???? ?? ??? ??? ???? ??. ?? ?? ?? ????? ???? ?? ??? ?? ???? ????? ?? ?? ??? ??? ?? ?????? ?? ??? ? ???. ?? ??? ? ?? ??? ????? ?? ??? ????? ?? ????.
●????????…
△1995? ?? ?? △1999? ????? ?? △2001? ?????, ‘??????????(LPCVD)’ ?? ???? ??
△2005? ???? ?? ?????? ?? △2006? ?????, ???? 10? ??? ??