[?? ??? ??ON]SK????, ??? ????? ??? 5? ?? ?? ??

  • ????
  • ?? 2023? 5? 30? 16? 20?


SK????? ??? ????? ???? 5? ??? ??? ???? ??? ????.

30? ????(IB) ??? ??? A???(+)? ????? ?? SK????? 2?? 400? ? ??? 1920? ?, 3?? 400? ? ??? 2200? ?? ?? ? 800? ? ??? 4120? ?? ????? ???.

SK????? ?? ????????????(????) ?? ±50bp(???????, 1bp=0.01%???)? ??? 2??? ????(―) 24bp, 3??? ―21bp? ????? ???. ??? 8? ???? ??? ??? SK????? ?? 1500? ?? ????? ??? ?? ??.

??? SK??????? ??? ?? SK????? ???? ????? ????? ?? ???? ??? ????(NF3, WF6, SiH4 ?)? ?? ? ?? ??? ???? ??.

  • ???
    0?
  • ???
    0?
  • ???
    0?

?? 0

?? ?? ??

  • ???
    0?
  • ???
    0?
  • ???
    0?