??? ??? ?? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ??? ?? ??? 28????(nm)????? ??? ??? ? ?? ??? ???? ?? ???? ????.
2? ?? ???????????(SCMP)? ??? ???? ?? ??? ??? ??? ???.
????? ??? ??? ?? ??? ?????????(SMEE)? 28nm ????? ??? SSA/800-10W? ???? ??? ??? ????.
? ?? ? ????? ??? ?? ??? ?? ???? ??? ??. SMEE? ??? 12? ? ???? ?? ?????? ??? ????. SMEE? 2? ?? ??? ??? ???.
SMEE? 2020? ?? ? ? ??? 28nm ??? ???? ? ????(DUV) ????? ??? ??? ???? ??? ? ?? ?? ?? 28nm ????? ???? ?? ??? ?? ???? ??? ??? ????.
????? ??? ?? ??? ??? ?? ??? ???. DUV? ?? ???? ASML? ???? EUV?? ??? ??? ??? ??. SMEE? ???? ??? ?? ???? ASML? ?? ??? 10? ??? ??. ??? ??? ???? ????? ?? ?? ??? ??? ???? ?? ???? 28nm ????? ?? ??? ? ??? ? ? ??.
?? ??? ????? ASML? ?? ?? DUV? ???? ??. ASML? ?? ??? ????? TSMC, ???? ? ??? ?? ?? ???? ???? ? ?? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ? ???? ????(EUV) ????? ?? ?? ??? ????.
??? ASML? DUV? ?? ??? ?????. ???? ??? 9? 1???? ???? NXT: 2000i? ??? ?? ??? ??? ??? ???? ???? ????? ????? ASML? ??? ???? ????.
??? ?? DUV? ???? ASML? ?? DUV ??? ?? ???? ?? ??? ??. ??? ??? ?? 6? ??? ???, ?? ??? ASML? ???? NXT: 1980Di?? ?? ??? ???? ?? ?? ???? ????? ??? ??? ? ?? ??? ??? ???? ?? ????.
?? ? ????? ?? ???? ??? ??? ??? ???? ??. ?? ?? ??(mature process nodes, 40nm ?? ??? ??? ????, ?? ??? ??)?? ??? ??? ?????? ?? ????.
?? ?? ??? ? ?? ??? ??? ? ?? ??? ?? ???? ??? SMEE? ?? ?? ??? ? ??? ? ?? ??? 90nm? ArF ????? ??? ?? ??? ? ??. ??? ????? ? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ???? ?? ??? ???.
(??=??1)
[??★???] ??????? ?? ‘???’???!
??? ??? ??? ??
